详细说明
靶材 分类：管靶、板靶， 圆靶 用途;真空镀膜材料 材质：钛、镍、锆、铬、钽、铌,钨, 钼及合金
靶 。规格：板靶 50-250mm*10-120-mm*10-50mm 圆靶50-170mm （直
径）*厚度 100-20mm。Ti-Al wt% 50：50 ，70：30，80：20
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