天源有二硅化钼,二硅化钛,二硅化钨,二氧化硅 硅化物陶瓷溅射靶材 硅化三铬陶瓷溅射靶材 (Cr3Si),二硅化铬陶瓷溅射靶材 (CrSi2),二硅化钴陶瓷靶材(CoSi2), 二硅化铪陶瓷靶材 (HfSi2),二硅化钼陶瓷靶材 (MoSi2),二硅化铌陶瓷靶材(NbSi2),二硅化钽陶瓷靶材 (TaSi2),三硅化五钽陶瓷靶材 (Ta5Si3),二硅化钛陶瓷靶材 (TiSi2),三硅化五钛陶瓷靶材(Ti5Si3),二硅化钨陶瓷靶材(WSi2),硅化三钒陶瓷靶材(V3Si),二硅化钒陶瓷靶材 (VSi2),二硅化锆陶瓷靶材 (ZrSi2)